اندازه گیری عملکرد پمپ وکیوم

اندازه گیری عملکرد
سرعت پمپاژ به میزان جریان حجم پمپ در ورودی آن اشاره دارد که غالباً با حجم در واحد زمان اندازه گیری می شود. پمپ های انتقال و گیربکس در بعضی از گازها نسبت به سایرین موثرتر است ، بنابراین سرعت پمپاژ برای هر یک از گازهای پمپاژ می تواند متفاوت باشد و میانگین سرعت جریان پمپ بسته به ترکیب شیمیایی گازهای باقیمانده متفاوت خواهد بود. اتاق

توان خروجی اشاره به سرعت پمپاژ ضرب شده با فشار گاز در ورودی دارد و در واحد فشار · حجم / واحد زمان اندازه گیری می شود. در دمای ثابت ، توان متناسب با تعداد مولکولهایی که در هر واحد واحد پمپ می شوند ، و بنابراین با سرعت جریان جرم پمپ است. در هنگام بحث در مورد نشتی در سیستم یا برگشت به جریان از طریق پمپ ، توان عملیاتی به میزان نشت ولوم ضرب شده با فشار در قسمت خلاء نشت اشاره می کند ، بنابراین می توان توان نشت را با توان پمپ مقایسه کرد.

پمپ های جابجایی مثبت و انتقال حرکت از سرعت جریان حجمی ثابت (سرعت پمپ) برخوردار هستند ، اما با کاهش فشار محفظه ، این حجم حاوی جرم کمتری و کمتری است. بنابراین اگرچه سرعت پمپ ثابت است ، توان و سرعت جریان جرمی بصورت نمایی افت می کند. در همین حال ، نرخ نشت ، تبخیر ، تصعید و backstreaming همچنان به تولید یک توان ثابت در سیستم ادامه می دهد.

تکنیک
پمپ های خلاء با اتاق ها و رویه های عملیاتی در طیف گسترده ای از سیستم های خلاء ترکیب می شوند. بعضی اوقات بیش از یک پمپ (به صورت سری یا موازی) در یک برنامه واحد استفاده خواهد شد. یک خلاء جزئی یا خلاء خشن با استفاده از یک پمپ جابجایی مثبت ایجاد می شود که بار گاز را از یک درگاه ورودی به درگاه خروجی (اگزوز) منتقل می کند. به دلیل محدودیت های مکانیکی آنها ، چنین پمپ هایی تنها می توانند به خلاء کم برسند. برای دستیابی به خلاء بالاتر ، باید از تکنیک های دیگر استفاده شود ، به طور معمول در سری (معمولاً به دنبال پمپ سریع اولیه با پمپ جابجایی مثبت). برخی از نمونه ها ممکن است استفاده از پمپ پرتابه روتاری مهر و موم شده روغن (شایع ترین پمپ جابجایی مثبت) است که از پمپ انتشار استفاده می کند ، یا یک پمپ پیمایش خشک که از پمپ توربومولکولی استفاده می کند. بسته به سطح خلاء مورد نظر ، ترکیبات دیگری نیز وجود دارد.

دستیابی به خلا بالا بسیار دشوار است زیرا باید تمام مواد در معرض خلاء به دلیل خواص outgassing و فشار بخار مورد بررسی قرار گیرد. به عنوان مثال ، روغنها ، گریسها و واشرهای لاستیکی یا پلاستیکی که به عنوان مهر و موم محفظه خلاء مورد استفاده قرار می گیرند ، نباید هنگام قرار گرفتن در معرض خلاء ، جوش نیایند و یا گازهای تولید شده آنها از ایجاد درجه خلاء مطلوب جلوگیری می کند. اغلب ، تمام سطوح در معرض خلاء باید در دمای بالا پخته شوند تا گازهای جاذب را خاموش کنند.

پیشگیری از پمپاژ جارو برقی نیز می تواند به سادگی از بین برود. سیستم های خلاء بالا به طور کلی به محفظه های فلزی با مهر و موم های واشر فلزی مانند فلنج های کلاین یا فلنج های ISO احتیاج دارند ، نه واشرهای لاستیکی که بیشتر در مهر و موم های محفظه کم خلا وجود دارد. این سیستم باید پاک و عاری از مواد آلی باشد تا از حداکثر میزان تخلیه استفاده شود. همه مواد ، جامد یا مایع ، فشار بخار کمی دارند و هنگامی که فشار خلاء زیر این فشار بخار قرار می گیرد ، بیرون زدگی آنها مهم می شود. در نتیجه ، بسیاری از مواد که در خلاء کم کار می کنند ، مانند اپوکسی ، در خلا های بالاتر به منبع فراموشی تبدیل می شوند. با استفاده از این اقدامات احتیاطی استاندارد ، خلاء های 1 میلی آمپر با فشار به راحتی با مجموعه ای از پمپ های مولکولی به دست می آید. با طراحی دقیق و بهره برداری ، 1 میکروگرم در بدن امکان پذیر است.

چندین نوع پمپ ممکن است به صورت متوالی یا موازی استفاده شود. در یک توالی پمپ معمولی ، از پمپ جابجایی مثبت برای خارج کردن بیشتر گاز از یک محفظه استفاده می شود ، از جو (760 Torr ، 101 kPa) تا 25 Torr (3 kPa) شروع می شود. سپس از پمپ جذب برای پایین آوردن فشار به 10-4 Torr (10 میلی آمپر) استفاده می شود. از یک پمپ کرایوپامپ یا توربومولکولی استفاده می شود که فشار را به پایین تر از 10-8 Torr (1 میکروگرم در بدن) کاهش می دهد. پمپ یون اضافی را می توان در زیر 10 تا 6 Torr برای از بین بردن گازهایی که به طور کافی توسط پمپ یا تورم توربو مانند هلیوم یا هیدروژن به کار نمی روند ، شروع کرد.

خلاء فوق العاده بالا به طور کلی به تجهیزات ساخته شده سفارشی ، رویه های عملیاتی دقیق و مقدار عادی محاکمه و خطا احتیاج دارد. سیستم های خلا فوق العاده بالا معمولاً از جنس استنلس استیل با فلنج های خلاء گازدار فلزی ساخته می شوند. این سیستم معمولاً پخته می شود ، ترجیحا تحت خلاء ، به طور موقت فشار بخار کلیه مواد فرسوده در سیستم را بالا می برد و آنها را جوش می دهد. در صورت لزوم ، این طغیان سیستم نیز می تواند در دمای اتاق انجام شود ، اما این کار به زمان بسیار بیشتری نیاز دارد. هنگامی که بخش عمده ای از مواد طغیانگر جوشانده و تخلیه می شوند ، سیستم ممکن است تا فشار بخار پایین بیاید تا در صورت بهره برداری واقعی ، از تخلیه باقیمانده به حداقل برسد. بعضی از سیستم ها با خلوص نیتروژن مایع بسیار پایین تر از دمای اتاق خنک می شوند تا از بین بروند وسایل اضافی باقیمانده و همزمان سیستم را متوقف کنند.

 

منبع : قیمت پمپ وکیوم

Leave a reply

You may use these HTML tags and attributes: <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <s> <strike> <strong>